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半導體潔淨廠房建造時,需要注意(yì)哪些(xiē)區域

發(fā)布時間:2025-04-10瀏(liú)覽次數:891

1、半(bàn)導體潔淨車間的潔淨生產區

潔(jié)淨生產區的氣體潔淨室等(děng)級需根據(jù)商品生產工藝流程(chéng)的規定來明確,這是潔淨(jìng)工程建築廠房設計(jì)的關鍵(jiàn)依據,客戶除了出示基本的施工工程圖紙外,還(hái)應出示所生產製造商品(pǐn)的各種各樣設計標(biāo)準,如溫度、濕度、氣旋(xuán)流形要(yào)求,生產所需原輔材料特性及水(shuǐ)、電、氣要求等。

2、機器(qì)設備區

即空調淨化係統軟(ruǎn)件、公用(yòng)電廠(chǎng)等,是潔(jié)淨廠房(fáng)的關鍵組成部分。在半導體潔淨車間設(shè)計中,空調淨化機器設備(bèi)、製冷供暖應布置在淨化(huà)車間內,便於(yú)管(guǎn)理,減少管道長度。

3、潔淨輔助間(jiān)

這是半導體潔淨車間不可或缺的房間(jiān),房間的氣體潔淨室等級除開按顧客(kè)規定開展設計(jì)外,均按《潔淨廠房設計規範》GB50073-2001的要(yào)求設計。

4、管(guǎn)理區

這是半導(dǎo)體潔淨(jìng)車間內的商品加工過程的企業生產管理、技術水平的管(guǎn)理和必需的實際操作工作人(rén)員的管理區域。


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