千級潔（jié）淨棚標準

1.空氣質量要求:潔淨棚內空氣中顆粒（lì）物濃度應小於0.5微米（mǐ）/立方米，

微生（shēng）物濃度應（yīng）小於1個/立方米。

2.溫度和（hé）濕度要求:潔淨棚內溫度（dù）應保持在18℃~26℃之間，相對濕度應控製在45%~65%之間。

3.空氣流速要求:潔淨棚內空氣流速應保持在0.25m/s~0.5m/s之（zhī）間。

4.地麵和牆壁材料要求:地麵（miàn）和牆壁材料（liào）應為防靜電材料，並且易清洗、無塵埃積累。

5.照明要求:照明強度應達到（dào）300~500LX，並（bìng）且光源（yuán）不得產生紫外線和紅外線輻射。

6.進出口（kǒu）通道要求:進出（chū）口通道應設（shè）置空氣鎖門或風淋室，以防止外

界（jiè）汙染物進入潔淨棚內。