潔淨棚通過(guò)以(yǐ)下(xià)核心措施控製顆粒物濃度:
1. 高(gāo)效過濾係統:采用HEPA或ULPA過濾器,過濾效率達99.99%以(yǐ)上(針對0.3μm顆粒),確保送風潔淨(jìng)。
2. 氣流組織設計:
單向(xiàng)流(垂直/水平層(céng)流):氣流均勻覆蓋工作區,快速帶走汙染物,適用於ISO 5級(jí)(百(bǎi)級)等高要求場景。
非單向流:配合FFU(風機過濾單元)循環(huán)過濾,適合ISO 6-8級(jí)(千級至十萬級)。
3.壓差控製:維持正壓(如+5~+10Pa)防止外部汙染侵入,關鍵區域可設置緩衝間。
4. 材料與結構:采用光滑抗菌板材、無縫接縫,減少積塵死(sǐ)角;透明簾或(huò)硬質圍擋平衡密閉性與操作性。
5. 監測與維護:實時粒子計數器監測,定期更換過(guò)濾器、清潔表麵,確保長期穩定性。
行業適配:
半導體/光電:需ISO 4-5級,采用ULPA過濾器+高風速單向流。
醫藥/食品(pǐn):ISO 5-7級,側重防微(wēi)生物汙染,材料需(xū)耐腐蝕。
普(pǔ)通電子:ISO 6-8級,FFU循環係統(tǒng)即(jí)可(kě)滿足,成本更低。