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模塊化淨化棚又稱為模塊化潔淨棚或者模組式潔淨棚，內部可采用高架地板，優（yōu）化內部的氣流組織，也可鋪設PVC地板或利用原有的地麵。在利用原有地麵時，其質量應滿足與潔淨棚（péng）內部潔淨度等級相對應的要求。模塊化潔淨棚隻有淨化功能，溫濕度必須依賴於外部···
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